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🔦 전공정1_노광 (Photo)
1. 공정 정의
빛을 이용해 반도체 웨이퍼 위에 미세한 회로 패턴(밑그림)을 형성하는 공정입니다.
2. 핵심 기술
EUV (극자외선)
: 7나노 이하 미세 공정의 필수 기술 (슈퍼을 ASML 독점 장비)
감광액 (PR)
: 빛에 반응하여 회로를 남기는 화학 물질
3. 관련 기업 (증거금 20%)
동진쎄미켐
(감광액 국산화 선두)
에프에스티
(EUV 펠리클)
SNS텍
(블랭크마스크)
다음 공정:
전공정2_식각